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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：1395 發(fā)布時(shí)間：2020/09/15
Q：發(fā)現(xiàn)試驗(yàn)效果不佳，怎么辦？
A：請(qǐng)查看泵油顏色是否暗淡，污濁，并及時(shí)更換泵油。
Q：設(shè)備不起輝光怎么辦？
A：1. 射頻燈未能提供射頻；
2. 密封性可能存在漏氣問(wèn)題。
Q：如何排查射頻燈問(wèn)題？
A：使用設(shè)備標(biāo)配的測(cè)試燈管，放入主機(jī)腔體內(nèi)，打開“RF”開關(guān)至“Hi”檔，通過(guò)觀察燈管狀態(tài)判斷射頻燈問(wèn)題（此過(guò)程不需抽真空）。
Q：密封性問(wèn)題如何解決？
A：1. 確保使用的真空泵能夠達(dá)到或超過(guò)小抽速1.4立方米每小時(shí)和極限負(fù)壓不大于200mTorr；
2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進(jìn)氣管路連接件是否正確并擰緊，等離子清洗艙門是否正確關(guān)閉，門密封圈的地方是否清潔無(wú)缺陷。
Q：是否有建議的清洗工藝參數(shù)？
A：射頻功率等級(jí)應(yīng)設(shè)置為中檔或高檔，600-800毫托壓力和1-3分鐘處理時(shí)間是比較好的工藝參數(shù)的初始值，好的工藝參數(shù)值將取決于樣品材料和預(yù)期的應(yīng)用，這需要一些實(shí)驗(yàn)來(lái)確定這些值。
Q：如何測(cè)量真空負(fù)壓值？
A：可以找我們購(gòu)買相對(duì)應(yīng)的測(cè)量設(shè)備，比如：真空監(jiān)視單元或氣體流量混合儀。
Q：為什么泵油會(huì)回流？
A：如果配套泵浦是油泵的話，當(dāng)工藝處理完成后，設(shè)備艙體內(nèi)部不立即減壓的話，油可能從真空油泵返流造成污染系統(tǒng)，我們建議使用有防回吸功能的真空泵。
Q：如何清洗真空腔內(nèi)壁？
A：需定期清洗真空艙內(nèi)壁、艙門以及O形圈，清洗方法請(qǐng)參見(jiàn)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清洗方法，如可用酒精、丙酮或異丙醇浸泡或輕輕擦拭等離子體腔室的表面。
